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萝岗区爱德华磁悬浮涡轮泵保养公司欢迎来电 广州潽拓光电公司香包怎么做
2023-12-24 00:32  浏览:39
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广州潽拓光电科技有限公司——爱德华磁悬浮涡轮泵保养公司

岛津是的涡轮分子泵(TMP)制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。

岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度,可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如,使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。

我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下:

1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干

2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品

3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量

4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至G0.16标准,

5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10-7mbar等

6、持续模拟生产现场测试24小时,

7、0-20KHz震动频谱加速度分析

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日本岛津TMP-203M磁悬浮涡轮分子泵:

极高的可靠性

* 极丰富的指令集

* 易于掌握

* 便捷的操作

* 丰富的内置集成功能

* 实时特性

* 强劲的通讯能力

* 丰富的扩展模块

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真空度就是指真空的程度,是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。

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